Министерство образования и науки
Российской Федерации

Саратовский государственный университет
им. Н.Г. Чернышевского

 
Устройства
для измерения толщин микро- и нанометровых пленок

Патент РФ 2233430. Способ видеоизмерения толщины пленки. Опубл. 27.07.2004. Бюл.21.
Свидетельство на полезную модель №28391. Устройство для видеоизмерения толщины пленки Опубл. 20.03.2003. Бюл.№8.
Пат. РФ № 2096791. Устройство для измерения параметров диэлектрических материалов. Опуб.20.11.97. Бюл. Изоб. №32.
Патент РФ № 2094811. Устройство на диоде Ганна для измерения параметров диэлектрических материалов. Опуб.27.10.97. Бюл. Изоб. №30.

Д.А. Усанов, Ал.В. Скрипаль, Ан.В. Скрипаль, А.В. Абрамов

 

Предназначены для неразрушающего контроля параметров металлических или диэлектрических пленок в ходе технологического процесса и на готовых изделиях. Измерительный комплекс позволяет контро-лировать толщины метало-диэлектрических и поглоща-ющих пленок в наномет-ровом диапазоне с недости-жимой ранее точностью.
Область применения: микро- и наноэлектроника, интерференционная микро-скопия, приборостроение, машиностроение, акусто-электроника, химическая промышленность, медицин-ская техника.
По сравнению с аналогами обеспечен многопараме-тровый контроль с расширен-ным диапазоном значений измеряемых параметров.
р
Устройство радиоволнового контроля
Состав: СВЧ-датчик, предвари-тельный усилитель, ячейка памяти, блок питания, система корректировки нуля, блок обработки информации.

Принцип действия основан на эффекте автодинного детектирова-ния. Полупроводниковый генератор электромагнитных колебаний работает в режиме автодинного детектирования. СВЧ-элемент (диод Ганна, СВЧ-транзистор) является одновременно источником и приемником отраженной.

Устройство радиоволнового контроля обеспечивает ввод информации в компьютер, её обработку и сохранение в цифровом виде.

а
Устройство видеоконтроля

Состав: видеокамера, микроинтерферометр МИИ-4, программное обеспечение.

Принцип действия основан на использовании обнаруженных закономерностей поведения интерференционной картины на границе метало-диэлектрических и поглощающих пленок, а также на применении современных систем видеообработки изображений и уникального программного интерфейса.

Устройство видеоконтроля обеспечивает ввод изображения высокого разрешения, его анализ и сохранение результатов измерений в цифровом формате.


а
Основные технические
характеристики:
  •  Диапазон измерений:
    металлических пленок
    0.01-15.0 мкм
    непроводящих пленок
    1-1000 мкм
  • Погрешность определения толщины:
    10%
  • Разрешающая способность:
    2 нм
  • Материал проводящей пленки:
    алюминий, ванадий, медь, никель, титан, хром
  • Материал подложки:
    кремний, арсенид галлия, сапфир, стекло, кварц
  • Длительность измерения:
    не более 10 сек
  • Питание:
    от сети переменного напряжения
    220 ± 20 В, частоты 50-60 Гц
     
    Устройства внедрены на предприятиях Москвы, Зеленограда, Саратова.

     

    Россия, 410026, г. Саратов, ул. Московская, 155, Телефон: (+7) 8452 514563, E-mail: usanovda@info.sgu.ru, http://solid.sgu.ru