Предназначены
для неразрушающего контроля параметров
металлических или диэлектрических пленок в ходе технологического
процесса и на готовых изделиях. Измерительный комплекс
позволяет контро-лировать толщины метало-диэлектрических
и поглоща-ющих пленок в наномет-ровом диапазоне с недости-жимой
ранее точностью.
Область применения: микро-
и наноэлектроника, интерференционная микро-скопия, приборостроение,
машиностроение, акусто-электроника, химическая промышленность,
медицин-ская техника.
По сравнению с аналогами обеспечен многопараме-тровый
контроль с расширен-ным диапазоном значений измеряемых
параметров. |
|
р |
Устройство
радиоволнового контроля
Состав: СВЧ-датчик, предвари-тельный
усилитель, ячейка памяти, блок питания, система корректировки
нуля, блок обработки информации.
Принцип
действия основан на эффекте автодинного
детектирова-ния. Полупроводниковый генератор электромагнитных
колебаний работает в режиме автодинного детектирования.
СВЧ-элемент (диод Ганна, СВЧ-транзистор) является
одновременно источником и приемником отраженной.
Устройство
радиоволнового контроля обеспечивает ввод информации
в компьютер, её обработку и сохранение в цифровом
виде.
|
|
а |
Устройство
видеоконтроля
Состав:
видеокамера, микроинтерферометр МИИ-4, программное
обеспечение.
Принцип
действия основан на использовании обнаруженных
закономерностей поведения интерференционной картины
на границе метало-диэлектрических и поглощающих пленок,
а также на применении современных систем видеообработки
изображений и уникального программного интерфейса.
Устройство
видеоконтроля обеспечивает ввод изображения высокого
разрешения, его анализ и сохранение результатов измерений
в цифровом формате.
|
|
а |
Основные
технические
характеристики: |
Диапазон
измерений:
металлических пленок |
0.01-15.0
мкм |
непроводящих
пленок |
1-1000
мкм |
Погрешность определения
толщины: |
10% |
Разрешающая способность:
|
2
нм |
Материал проводящей пленки: |
алюминий,
ванадий, медь, никель, титан, хром |
Материал подложки: |
кремний,
арсенид галлия, сапфир, стекло, кварц |
Длительность измерения:
|
не
более 10 сек |
Питание: |
от
сети переменного напряжения
220 ± 20 В, частоты 50-60 Гц |
|
|